各種行業對無塵車間潔凈度等級的要求

文章出處：新聞資訊責任編輯：東莞市力翔空調凈化工程有限公司發表時間：2021-01-23

1、半導體集成電路要求的空氣潔凈度等級

集成電路生產環境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級是依據可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。

舉例說明：

例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.

無塵車間空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區 ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區 ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區 ISO 5級

例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

無塵車間工程空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區 ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區 ISO 4級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區 ISO 6級

2、一些電子產品生產環境的空氣潔凈度等級

隨著信息產業技術的發展，許多電子產品性能、質量的提高和生產過程的微細化，日益要求生產環境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內工藝生產所需的各類高純物質的供給質量，目前國內外還沒有統一電子產品的空氣潔凈度等級或生產環境控制要求的統一規定，各種電子產品的生產廠家依據其生產的產品品種、所采用的生產工藝技術、生產工藝設備、生產用原輔料以及無塵車間運行的實踐經驗確定設計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。

舉例說明：

例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產用無塵車間，TFT-LCD具有體積小、質量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優點。

各無塵車間空氣潔凈度等級，控制粒子粒徑為0.3um

清洗、涂膠、曝光間 ISO 4級

顯影、刻蝕間 ISO 5級

成盒間 ISO 5級

濺射、CVD間 ISO 6級

例二、某高密度磁帶生產用潔凈廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um

各無塵車間的空氣潔凈度等級要求

涂布頭 ISO 5級

備件、切帶、帶基、測試、涂布間和烘干、固化間 ISO 6級

組裝、維修間和部分原料庫 ISO 7級